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多波段滤光膜的设计与制备
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资料类别
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化工建筑毕业论文（设计） |
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课程(专业)
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化工 |
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关键词
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光学薄膜|多波段滤光膜 |
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适用年级
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大学 |
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身份要求
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普通会员 |
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金 币
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60 （金币如何获得？） |
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文件格式
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word+ppt |
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文件大小
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2380K |
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发布时间
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2020-02-19 16:28:00 |
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预览文件
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0945177.png（只能预览部分内容） |
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下载次数
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0 |
| 发布人 |
kj008 |
内容简介：
多波段滤光膜的设计与制备，毕业论文，共32页，15912字，附答辩文稿等。
摘 要
随着红外光通信技术的发展，光学薄膜在提升光学器件性能方面扮演着越来越重要的角色。本课题主要研制以K9玻璃为基底，实现在波长532nm处，T﹥95%；波长808nm处，T﹤0.5%；波长1064nm处，T﹥95%的多波段滤光膜，同时对薄膜材料的光学性能进行研究和分析，根据薄膜设计理论，借助TFC膜系软件进行膜系设计。通过对初始膜系膜层厚度的优化，获得了较为理想的膜系结构。采用电子束真空蒸发和离子辅助沉积技术制备薄膜，对镀膜过程中影响膜层性能的工艺因素进行了分析、研究，并给出了最终设计曲线及实测曲线。
关键词：光学薄膜 多波段滤光膜 真空镀膜 离子辅助沉积
目 录
摘 要 I
ABSTRACT II
第1章 绪 论 1
1.1 薄膜的发展与应用 1
1.2 课题研究的目的和意义 1
1.3 研究的背景及内容 2
1.4 本课题研究的主要工作 3
第2章 光学薄膜的理论基础 4
2.1 单层介质薄膜的反射率 4
在界面上应用边界条件可以写出： 4
2.2 多层介质薄膜的反射率 7
第3章 多波段滤光膜的设计 9
3.1 薄膜材料的选取 9
3.1.1 薄膜材料的选则依据 9
3.1.2 选择薄膜材料 11
3.2 膜系设计 12
3.2.1 多波段滤光膜的设计 12
3.2.2 增透膜的设计 14
第4章 薄膜制备 16
4.1 真空镀膜设备简介 16
4.1.1 真空获得系统 16
4.1.2 材料蒸发系统 17
4.1.3 膜层厚度监控系统 18
4.1.4 离子源 20
4.2 工艺因素 21
4.3 制备工艺过程 23
第5章 测试结果与误差分析 25
5.1 测试结果与分析 25
5.2 薄膜制备的误差来源 25
结 论 27
参 考 文 献 28
致 谢 29
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