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SiO2与TiO2光学薄膜的制备及其椭偏测量
资料类别
   教育传媒毕业论文(设计)
课程(专业)
  印刷工程
关键词
  薄膜制备|椭圆偏振仪
适用年级
  大学
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文件格式

  word
文件大小
  45580K
发布时间
  2019-05-04 08:06:00
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  1
发布人   kj008
 内容简介:     SiO2与TiO2光学薄膜的制备及其椭偏测量,毕业论文,共60页,19238字,附开题报告、答辩文稿、外文翻译等。
   摘 要
   随着薄膜技术在信息存储、电子元器件、航天技术以及光学仪器等方面的越来越广泛的应用,薄膜光学参数(折射率n、吸光系数k和薄膜厚度d)的准确测量逐渐成为薄膜研究的重要方向。
   在本文中,选择性能比较优异的SiO2、TiO2光学薄膜为研究对象,它们具有非常高的化学稳定性和机械强度性能,通过溶胶-凝胶法,用硅酸乙酯、钛酸丁酯分别配制成SiO2、TiO2薄膜。然后用SC630全自动椭圆偏振光谱仪测量这两种光学薄膜的参数性能。通过分析得出控制测量角度,使得测量所得的薄膜的折射率和吸光系数更加精确;调节提拉速度和溶液的溶度来控制薄膜的厚度。用上述方法制备薄膜,简单容易,所需要的设备少,同时耗资也少。用椭圆偏振法测量薄膜的参数性能,操作简单,快捷方便。
   关键词:光学薄膜;薄膜制备;椭圆偏振仪;椭偏测量
  
   目 录
   摘 要 I
   Abstract II
   1 绪 论 1
   1.1 光学薄膜的概述 1
   1.2 光学薄膜的发展现状 2
   1.2.1 光学薄膜在国外的发展现状 2
   1.2.2 光学薄膜在国内的发展现状 2
   1.3 光学薄膜的特点及性能 2
   1.3.1 光学薄膜的特点 2
   1.3.2 光学薄膜的性能 2
   1.4 光学薄膜的椭偏测量 3
   1.4.1 椭圆偏振原理 3
   1.4.2 椭圆偏振仪概述 4
   1.4.3椭圆偏振仪系统结构及其优点和特点 5
   1.4.4 椭圆偏振的发展现状 6
   1.4.5 椭圆偏振仪的应用 7
   1.5 研究的主要内容 8
   2 实验设计 10
   2.1 实验药品和仪器 10
   2.2 SiO2与TiO2光学薄膜的制备 10
   2.2.1 SiO2光学薄膜的制备 10
   2.2.1 TiO2光学薄膜的制备 11
   2.3 SiO2与TiO2光学薄膜的椭偏测量 12
   2.3.1 SC630全自动椭圆偏振光谱仪的操作 12
   2.3.2 SiO2与TiO2光学薄膜的参数测量 14
   3 结果与讨论 15
   3.1 SiO2光学薄膜的测量数据的处理 15
   3.1.1 实验数据处理 15
   3.1.2 实验数据分析 15
   3.2 TiO2光学薄膜的测量数据的处理 21
   3.2.1 实验数据处理 21
   3.2.2 实验数据分析 21
   结 论 29
   参考文献 30
   致 谢 32
   附 录 33

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